晶圆清洗洁净室整理

洁净室整理

半导体微型设备的制造在洁净室中进行，以保护复杂电路免受可操作性污染的影响。洁净室按颗粒大小及其每立方英尺 或每立方米（ISO 标准）的数量分类：

在半导体行业的洁净室中，空气通过超细过滤器进行净化，这些过滤器从天花板吹过并通过地板上的孔排出。这种层流使粒子自上而下前进。为避免来自外部的污染，洁净室内部始终存在一些过压。由于生产线加热空气，空气上升并可能引起湍流。为避免这种情况，层流可以反向，从地板到天花板。这主要是在晶圆在密封箱内运输时完成的，密封箱直接停靠在设施上，这样污染物就不可能到达晶圆。这种盒子称为 FOUP（前开式统一盒）。

由于晶圆在洁净室中与环境空气完全隔离，因此 FOUP 内可以有另一个洁净室级别，微型环境。出于这个原因，盒子内的级别可以是 1 或 2 以保护晶圆免受颗粒影响，而洁净室本身的级别仅为 5，例如。这样效率更高，因为不需要整个洁净室都超级干净，而只需要相对较小的运输箱。

图1

在图1中，生产线只是浅红色通风系统和黄色底部区域之间的区域。下面是地下室，里面有供应装置（泵、发电机等），上面是空气过滤器。为了尽量减少湍流，巨大的洁净室区域通常被分隔成单独的走廊。许多无尘室都被服务室包围，生产工具就放在里面。在这种情况下，从洁净室内部只能接触到用于放入晶圆的锁和控制面板。

工作人员穿着不散发颗粒的特殊洁净室服（通常称为兔子服）。根据要求，防护服覆盖整个身体，包括头部和面部。此外还有专门的靴子、内衣和手套。入口旁边有时会有风淋室将一切吹得干干净净。