旋转漂洗干燥机的工作是漂洗和干燥盒中的成批晶圆。晶片通常被装入不锈钢滚筒或腔室中，然后在旋转的同时注入 DI（去离子水）以冲洗掉可能从先前工艺步骤（例如蚀刻）中遗留下来的任何颗粒。
晶片的干燥通常是通过以大约 10,000 rpm 的速度旋转晶片，同时将加热的氮气注入碗中。静电会在干燥时积聚，这可能会帮助颗粒粘附在表面上，甚至损坏一些精密设备，这可以通过静电消除器组件来减少。
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