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基于单晶微线阵列的高性能有机光电晶体管
High-performance organic phototransistors (OPTs) have attracted considerable attention owing to their high photoresponse...
采用不同后处理工艺对单晶硅表面质量和损伤特性的研究
Abstract: Detecting subsurface defects in optical components has always been challenging. This study utilizes laser scat...
单晶 4H-SiC 块体衬底的受控剥落
We detail several scientific and engineering innovations which enable the controlled spalling of 10 – 50 micron thick f...
Single Wafer Clean
单晶圆清洗的清洗过程是在室温下重复利用 DI-03/DHE 清洗液进行的，臭氧化的 DI水(DI-03)用来产生氧化硅，稀释的 HF 用来蚀刻氧化硅，同时清除颗粒和金属污染物。根据蚀刻和氧化的要求，采用较短的喷淋时间就可获得较好的清洗效果，...