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异丙醇浓度和刻蚀时间对硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
A micropyramid structure was formed on the surface of a monocrystalline silicon wafer (100) using a wet chemical anisotr...
用局部刻蚀法和电热原子吸收光谱法测定硅晶片中的金属杂质
An etching technique for the determination of the metallic impurities distribution in silicon wafers has been developedA...
使用低温沉积和刻蚀工艺的MEMS中电沉积Ni-Fe的集成
This article presents a set of low-temperature deposition and etching processes for the integration of electrochemically...
各向异性刻蚀
各向异性刻蚀是一种减材微加工技术，旨在优先去除特定方向的材料以获得复杂且通常平坦的形状。湿法技术利用结构的晶体特性在由晶体取向控制的方向上进行蚀刻。 然而，概述了一些定性方面用于解释各向异性的性质：它应该是由于边缘 Si 原子和蚀刻自由基之...
复旦大学义乌研究院刻蚀设备中标结果公告
招标项目名称:复旦大学义乌研究院刻蚀设备招标产品列表(主要设备):刻蚀设备 1项目编号：1639-234522240109/01招标范围：刻蚀设备招标机构：上海市机械设备成套（集团）有限公司招标人：复旦大学义乌研究院开标时间：2023-06...
上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目中标结果公告晶背刻蚀机
项目名称：上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目项目编号：4197-2140SHJT0001/228招标产品列表(主要设备): 晶背刻蚀机 1招标机构：中电商务（北京）有限公司招标人：上海积塔半导体有限公司开标时间：2023-06-0...
西安奕斯伟硅产业基地二期项目国际招标公告刻蚀后平坦度检测仪、研磨后平坦度测定仪
招标项目名称:西安奕斯伟硅产业基地二期项目招标产品列表(主要设备):刻蚀后平坦度检测仪1台 、研磨后平坦度测定仪 1台招标文件领购开始时间:2023-06-29招标文件领购结束时间:2023-07-06开标时间:2023-07-20 10:...
干法刻蚀尾气处理设备中标结果公告
项目名称：干法刻蚀尾气处理设备项目编号：0730-234011020006/75招标范围：干法刻蚀尾气处理设备招标机构：中航技国际经贸发展有限公司招标人：厦门天马光电子有限公司开标时间：2023-06-15 09:30公示时间：2023-0...
刻蚀终点侦测器中标结果公告
项目名称：刻蚀终点侦测器项目编号：0730-234011020007/21招标产品列表(主要设备):刻蚀终点侦测器 34个招标机构：中航技国际经贸发展有限公司招标人：厦门天马显示科技有限公司开标时间：2023-05-30 09:30公示时间...
干法刻蚀冷却器中标结果公告
项目名称：干法刻蚀冷却器项目编号：0730-234011020006/73招标产品列表(主要设备): 干法刻蚀冷却器 39台（30台普通制冷型+9台强制冷型）招标机构：中航技国际经贸发展有限公司招标人：厦门天马光电子有限公司开标时间：20...