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用磷酸揭示氮化硅对二氧化硅的选择性蚀刻机理
关键词:氮化硅，二氧化硅，磷酸，选择性蚀刻，密度泛函理论，焦磷酸 介绍 信息技术给我们的现代社会带来了巨大的转变。为了提高信息技术器件的存储密度，使用浅沟槽隔离技术将半导体制造成无漏电流的极端规模集成。在这个过程中，固相氮化硅(Si3N4)...
磷酸盐缓冲盐水的性能对石英晶体谐振器振动特性的影响
引言PH缓冲液通常用于生物化学中控制PH和保持蛋白质的稳定性。它们通常是弱酸（碱）及其共轭碱（酸）的水溶液。石英晶体微平衡(QCM)是一种广为人知的生物传感工具，是利用索尔布雷在1959年提出的著名的质量频移效应开发出来的。当在液体中使用时...
磷酸中二氧化硅的选择性湿法蚀刻方法
In the semiconductor manufacturing, silicon nitride (Si3N4) and silicon dioxide (SiO2) are the most typical and widely-u...
磷酸湿化学蚀刻改进多晶硅片太阳能电池的方法
1. Introduction Silicon nitride (SiN) thin films are widely used in various microelectronic and optoelectronic devices ...
磷酸电解液中铜电解抛光的机理研究
ExperimentalExperiments were performed on two different samples, standard Cu rotating disk electrodes from Pine Instrume...
用磷酸揭示氮化硅对二氧化硅的选择性蚀刻机理
1. Introduction Information technology (IT) has brought immense transition on our modern society. To enhance memory dens...
磷酸蚀刻增强纳米坑TiO 2表面亲水性
Our research group developed a novel nano-pitted (NP) TiO2 surface on grade 2 titanium that showed good mechanical, oste...