自动供液系统（SDS）

自动供液系统（SDS）是一套由多种液体化学品供应设备组成的系统，这些设备主要采用重力、气力或泵力为驱动力，通过管道将液体化学品输送到使用点，实现连续、安全、可靠的供应。

华林科纳供液系统供应的slurry>40种,chemical>20种,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，有超过200套的供液系统业绩。产品全面对标国际领先产品，获得国内外头部客户的认可。

以下为华林科纳供液系统详细信息：

主要用途：本系统设备主要以本地供应方式来提供制程所需之清洗液，包括研磨液原物料输送、混合稀释、循环供应功能及运转测试等

控制模式：手动控制模式、自动控制模式.

设备组成及配置

A. 箱体配置:

1. 箱体外观尺寸(mm)：1800(W) x 2000(H)(含轮子) x 800(D)（可定制）, 不锈钢骨架， PP外壳； 

2. 安装抗静电轮及调整脚架, 荷重≧ 500kg；

3. 箱体外具备一组200L/Drum 的原料连接接口设计,采用 Drum cart 运输；

4. 具备测空监测；

5. 配有防漏液托盘，漏液sensor检测。

B.电气控制配置:

1. 彩色人员操作界面, Proface 10”触摸屏,操作画面设计个性化定制；

2. DI & DO 皆额外提供连接/省配线的 I/O 继电器终端模块, 继电器型式, 可拔插；

3. 电磁阀的手动方式皆具有 Push Lock 的功能, SMC/CKD；

4. 系统内俱备 200L 原料桶用的搅拌功能；

5. 三色信号指示灯；

6. 带有 EMO/漏液/空桶信号指示灯&警报器.

C. 组件规格&制程条件技术要求:

a. 原液区域：

1. 原料桶内具备加湿功能湿度大于95%, 俱备泄压阀的安全装置 设计;

2. 200L Drum 具备独立输出/回流小循环的功能;

3. 具备 200L Drum 输出液体排空侦测报警功能；

4. 200L 原料抽取快速安装接头组, 输出、回流、Wet N2, 3 管集中于一 ；

6. 200L Drum具备搅拌功能；

7. 原液部分带有漏液检测装置，并与主机台能互锁

8. 原液抽液管路带有自动清洗功能。

9. 200L 原液放置桶底部为滚轮设计，方便原液桶更换。