蚀刻剂含有表面活性剂，这些酸性、碱性、表面活性剂溶液具有不同的蚀刻速率和表面张力。因此，由于铝层下方可能存在复杂的结构，为不同的应用提供了多种铝蚀刻剂解决方案。
应用：
蚀刻剂适用于使用铝金属层实现器件互连的应用。
清洗过程：
1、工艺温度约为 42-45 ℃。
2、强烈建议机械搅拌清洁溶液，或在超声处理中执行清洁过程，或使用喷雾系统。在不搅拌的情况下，由于蚀刻剂副产物氢气的形成，铝不能被均匀地 蚀刻，并且可以在铝表面上看到许多岛状斑点。
3、纯铝或各种铝合金（不包括铜）的蚀刻速率约为每分钟 10,000 埃。
4、铜合金的铝蚀刻速率约为每分钟 12,000 埃。
