超纯水是尽可能接近纯 H 2 O的水。理论上纯水的电阻率为18.24MΩcm，超纯水已尽可能接近这一水平。事实上，超纯水也没有准确的定义。
超纯水广泛用于需要最高纯度等级的半导体行业。半导体行业使用的电子级或分子级水量相当于一个小城市的用水量；一家工厂可以使用超纯水 (UPW) 的速度为 2 MGD，或约 5500 m³ /天。超纯水通常在现场生产超纯水中的总有机碳可以通过提供养分促进细菌增殖，可以在敏感的热过程中作为碳化物替代另一种化学物质，以不需要的方式与生物工艺中的生化反应发生反应，并且在严重的情况下会留下不需要的残留物在生产零件上。TOC 可能来自用于生产UPW 的进水、来自用于输送UPW 的成分（制造管道产品中的添加剂或挤出助剂和脱模剂）、来自管道系统的后续制造和清洁操作，或来自脏管道、配件和阀门。
超纯水生产通常通过以下过程生产：
1、膜过滤或离子交换达到最终电导率10 uS/cm
2、然后通过高性能混床或电去离子处理软化水
离子交换器：
1、双床系统：包含阴离子和阳离子交换剂
2、混床系统：阳离子和阴离子树脂在一个罐中组合和混合
3、多罐系统：三个或更多个水箱串联或并联，或两者结合，以产生最高的水纯度
