臭氧清洁工艺优势

1、更安全——我们的臭氧和水清洗工艺在室温下运行，并获得与食人鱼相同的结果（硫酸和过氧化氢，加热至 130 摄氏度）

2、速度更快——我们的臭氧清洗工艺比 Piranha 更快，每个处理槽每小时处理 100 片晶圆和 6 片

3、它是兼容的——我们的臭氧清洗工艺与食人鱼不适用的许多金属薄膜兼容

4、它更清洁——我们的臭氧清洗工艺不会在晶圆上留下金属或颗粒残留物

5、更便宜——我们的臭氧清洁更便宜并且获得了 EPA 批准（绿色化学）；Piranha更贵，而且没有得到 EPA 的认可

6、它具有成本效益 – 我们的臭氧清洁溶液使用寿命 > 1 周，24/7 运行，Piranha 溶液使用寿命在 8-24 小时之间变化，具体取决于过氧化物浓度和工艺温度

突破性 O 3技术

1、适用于所有经过测试的金属——铝、铜、金、钽、钛、钨等

2、为使用点提供精确的化学成分

3、取代 2-3 个传统的湿式工作台流程

其他臭氧工艺替代品：

1、抵抗去除

2、金属蚀刻

3、表面蚀刻

4、表面处理

5、最后清洁