马兰戈尼干燥使用马兰戈尼力，因此而得名。在这种方法中，当冲洗水槽喷出 P和氮气的同时，将晶圆迅速拉起，并通过此时产生的马兰戈尼力去除水分。IPA 干燥也使用IPA，但在这种情况下，必须一直充满 IPA蒸汽，这会增加 IPA 的使用量。与此相反，马兰戈尼干燥只需喷射 IPA 蒸汽，因此有减少IPA 使用量的优点。
工艺问题提交
