在湿法清洗中，为了减少化学品和DI水的消耗量，常采用IMEC清洗法。第一步，去除有机污染物，生成一薄层化学氧化物以便有效去除颗粒。通常采用硫酸混合物，但出于环保方面的考虑而采用臭氧化的DI水，既减少了化学品和DI水的消耗量又避免了硫酸浴后较困难的冲洗步骤。第二步则采用最佳化的氢氟酸及盐酸混合稀释液，可以在去除氧化层和颗粒的同时，抑制Cu、Ag等金属离子的沉积。第三步，在硅表面产生亲水性，以保证干燥时不产生干燥斑点或水印。IMEC清洗法可达到很低的金属污染，并以其低化学品消耗及无印迹的优势获得较好的成本效率。
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