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晶圆片污染物主要有哪些？

去胶过程中硫酸和双氧水的配比是多少？

配比：H2SO4：H2O2=3：1 温度：140℃ 流程：1槽5分钟→溢流5分钟→2槽5分钟→冲水10次→甩干

晶圆片污染物主要有哪些？

根据污染物发生的情况，大致可将污染物分为颗粒、有机物、金属污染物及氧化物。